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洛阳混合气体和标准气体的不同

发布时间:2021-07-12作者:点击:95

洛阳混合气体和标准气体的不同

  洛阳混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点,但又有许多不同,混合气体除了要保证其配制浓度的高精度外,更需要气体具有优良的品质,换言之,混合气体必须要确保混合好的气体中含有的有害杂质不能高于某值。在8in以上的ic生产线,也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。

  1、混合气体的气瓶处理

  同其他气体不同,对盛装混合气体的气瓶的要求十分严格,否则,即便是混合气体配制的准确度再高,稳定性再好也无法使用。

  首先混合气体的气瓶几何尺寸,如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域,气瓶通常安放在气瓶柜内使用,气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后,气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的洛阳混合气体在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准,如美国的cga、欧盟的iso等,我们国家在此方面仍在认识和完善中。

  2、混合气体配制装置技术要求

  同其他标准气体制备不同的是,配制混合气体的装置似乎更为复杂,洛阳混合气体配气装置所用的管路必须是ep级别,材质为316l,精密压力表或压力传感器精度优于0.25级,材质316l。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统。

  混合气常用的平衡气或称底气:n2,h2,he,ar,o2;组分气:ph3,sih4,b2h6,sih6,geh4,ash3,tmb,bf3等,为了减少平衡气体中有害杂质的含量,设有平衡气体高压净化器,通过净化平衡气的纯度大于99.9999%,在净化器的出口设有在线h2o,o2检测仪表,随时反映净化器出口气体关键杂质的含量。

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